Di recente, le imprese di scienza e tecnologia dei materiali domestici hanno sviluppato con successo un nuovo tipo di materiale ceramico in carburo di silicio con purezza fino a 99 . 999%, e questa svolta migliorerà significativamente le prestazioni e le requisiti di materiale per la gravi, le esigenze di materiale di produzione di semi -calaborici . con i semi di shrinking di shrinking, le esigenze di materiale di materiale. Questa svolta tecnologica per l'aggiornamento delle apparecchiature a semiconduttore domestica fornisce un importante supporto materiale.
Momenti salienti della svolta tecnica:
1. Controllo della purezza ultra-alta: il contenuto di impurità di metallo è controllato al di sotto di 0 . 1ppm attraverso il processo di deposizione di fase vapore innovativa e la tecnologia di purificazione, soddisfacendo i requisiti di 7nm e di base del processo.
2. Eccellente performance termica: prestazioni stabili a 1000 gradi con conducibilità termica di 270W/MK .
3. Eccellente resistenza alla corrosione: resistente ad acidi forti, basi forti e ambienti corrosivi al plasma .
Vantaggi dell'applicazione dell'attrezzatura a semiconduttore:
1. Equipaggiamento di incisione: usato come materiale per il rivestimento della cavità per ridurre la contaminazione da metallo e migliorare l'uniformità dell'attacco
2. Crescita epitassiale: usato come vassoi e basi per garantire la qualità del livello epitassiale .
3. Impianto ionico: sostituisce i tradizionali componenti del quarzo ed estende gli intervalli di manutenzione dell'attrezzatura .
Un esperto di CeramicStimes ha dichiarato: "La produzione di semiconduttori si sta muovendo verso nodi di processo più fini e la ceramica in carburo di silicio di alta purezza diventerà un materiale chiave per le apparecchiature di prossima generazione . questa svolta ridurrà effettivamente la dipendenza dalla Cina sui materiali importati per le apparecchiature semiconduttori ."
Attualmente, il materiale ha superato i test di verifica dei principali produttori di attrezzature per semiconduttori nazionali e si prevede che raggiungerà la produzione di massa nel quarto trimestre di 2024. con il rapido sviluppo di tecnologie emergenti come il 5G e l'intelligenza artificiale, la domanda di mercato, la domanda di mercato in termini di mercati, la domanda di mercato in silicio in carburante continuerà Yuan .
Dinamica aziendale:
CeramicStimes ha investito 500 milioni di yuan per costruire una linea di produzione speciale, il completamento del progetto di capacità di produzione annuale fino a 200, 000 pezzi, soddisferà effettivamente le esigenze dei produttori di apparecchiature per semiconduttori nazionali per sviluppare più emissioni di materiale per le apparecchiature per le opere di materiale, per sviluppare più emissioni per le apparecchiature per materiale, per sviluppare più emissioni di apparecchiature per le apparecchiature speciali, per sviluppare più emissioni per le apparecchiature per materiali. soluzioni .
Questa svolta tecnologica non solo riempie il vuoto della ceramica in carburo di silicio ad alta purezza domestica, un controllo più indipendente delle apparecchiature a semiconduttore cinese fornisce un'importante garanzia materiale, promuoverà fortemente il processo di localizzazione della catena del settore dei semiconduttori .
